25 Jahre Mikrosensorik – Schlüsseltechnologien für Industrie, Medizin und Umwelt

Am 28. Juni 2018 feierte die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ihr 25jähriges Institutsjubiläum. Gemeinsam mit 100 Gästen aus Forschung, Politik und Wirtschaft wurde der Tag mit einem offiziellen Festakt im Comcenter Brühl in der Erfurter Innenstadt eröffnet.
Nach einigen kurzen eröffnenden Worten vom Prof. Gerhard Linß – Aufsichtsratsvorsitzender der CiS gGmbH – und Prof. Th. Ortlepp – Geschäftsführer der CiS gGmbH – stellte der Ministerpräsident von Thüringen Bodo Ramelow in seinen Grußworten die Bedeutung der wirtschaftsnahem Forschung für Thüringen und damit insbesondere die Bedeutung vom CiS Forschungsinstitut heraus.

Bild 1: v.l.n.r. (im Bildvordergrund): B. Ramelow – Thüringer Ministerpräsident, Prof. Th. Ortlepp und Th. Brock – Geschäftsführer CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Das stetige Wirtschaftswachstum Thüringens ist nicht zu Letzt dem hohen Potential und der zielorientierten Umsetzung bzw. Unterstützung industrieller Entwicklungsvorhaben geschuldet. Das CiS Forschungsinstitut hat dazu in den letzten 25 Jahren einen erheblichen Anteil beigetragen. Als Mitbegründer der Zuse-Gemeinschaft, zu der mittlerweile 76 Mitglieder bundesweit gehören, und unabhängiges privatwirtschaftlich organisiertes Forschungsinstitut sieht sich das CiS als direktes Bindeglied zwischen Wirtschaft und Wissenschaft.
Die beiden Festvorträge wurden von Prof. Roland Werthschützky (Leiter Fachgebiet Mess- und Sensortechnik am Institut für Elektromechanische Konstruktionen an der Technischen Universität Darmstadt) sowie Prof. Paolo Giubellino (wissenschaftlicher Geschäftsführer der Teilchenbeschleunigerzentren Facility for Antiproton and Ion Research in Europe GmbH (FAIR GmbH) und GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung GmbH) gehalten.
Prof. Werthschützky begleitet nun die Entwicklung der piezoresistive Sensoren seit mehr als 40 Jahren. Nichtsdestotrotz ist es immer noch ein „bewegtes Feld“ für innovative Entwicklungen und Technologieanpassung und -optimierung auf aktuellem Forschungsniveau. Oberstes Ziel und wesentliches Kriterium aktueller Entwicklungen ist und bleibt die Zuverlässigkeit der Sensoren. Die siliziumbasierten Drucksensoren vom CiS Forschungsinstitut gehören dabei weltweit zu den stabilsten, auf industriellem Niveau gefertigten Drucksensoren. Die langjährige Zusammenarbeit mit Systementwicklern aus Deutschland, die bereits 1995 begründet wurde, stellt eine wesentliche Voraussetzung für die kontinuierliche Entwicklungsarbeit auf dem Gebiet der Silizium-Drucksensorik dar. Es entstanden verschiedene Generationen von Drucksensoren, die in die unterschiedlichsten Anwendungen der Verfahrenstechnik eingeflossen sind, um dem Anspruch der zunehmenden Automatisierung in Sinne von Industrie 4.0 gerecht zu werden. Vertreter der Industrie bestätigten dies mit Beiträgen für die Jubiläumszeitschrift der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH.

Bild 2: Prof. Werthschützky aus Darmstadt während seines Festvortrags

Bild 2: Prof. Guibellino aus Darmstadt während seines Festvortrags

Das zweite Standbein des CiS, auf dem ebenfalls ein mindestens 25 jähriger Kompetenzaufbau sattgefunden hat, wurde im zweiten Festvortrag vom Prof. Guibellino deutlich. So verließen die ersten Prototypen eines Silizium-Strahlungsdetektors das Haus bereits 1997. In weiteren Entwicklungsstadien entstanden strahlungsharte Detektoren, die beigetragen haben, bahnbrechende Entdeckungen am CERN mit zu ermöglichen. Dafür wurde das CiS unter anderem mit dem ATLAS Supplier Award 2007 und dem CMS Gold Award 2009 vom Kernforschungszentrum CERN ausgezeichnet. Insbesondere waren CiS-Strahlungsdetektoren 2012 an der Entdeckung des Higgs-Boson oder genauer des Nachweises den Higgs-Mechanismus beteiligt. Mittlerweile wurden mehr als 8500 Wafer ausgeliefert und für Experimente auf dem Gebiet der Hochenergiephysik eingesetzt. Die aktuellen Entwicklungsschwerpunkte und weiterführenden Entwicklungsaufgaben zu strahlungshärteren Detektoren werden auch zukünftig in Kooperation mit dem Kernforschungszentrum CERN bearbeitet.
Im Anschluss an die Festvorträge kamen Vertreter der Industrie zu Wort. Frau Heidrun Metz z.B. von der X-FAB Semiconductor Foundries AG betonte die Entdeckung der Forschungsmöglichkeiten am CiS. Gefangen im täglichen Produktionsstress sind dringende und drängende Aufgaben oder auch Vorhaben nur mit einem Partner möglich, der sich die Technologieentwicklung vom Design bis zum Prototypen auf die Fahne geschrieben hat. Dieser Aufgaben stellt sich das CiS nun bereits seit 25 Jahren. Zukünftig soll die bestehende enge, räumliche Nachbarschaft intensiver genutzt werden. Die Entwicklung von Sensorkomponenten basierend auf Silizium-Technologien in Kombination mit den vielseitigen fachlichen Kompetenzen am CiS mündet in einer effizienten, verhältnismäßig unbürokratischen Umsetzung in kürzester Zeit. Dies wurde von mehreren Vertretern hervorgehoben unter Anderem bereits eingangs in den Grußworten des Thüringer Ministerpräsidenten Bodo Ramelow. Des Weiteren betonte Dr. Knuth Baumgärtel – Geschäftsführer der Micro-Hybrid Electronic GmbH – die Besonderheit des CiS Forschungsinstituts und die Notwendigkeit eines solchen Instituts für die Thüringer Unternehmen (insbesondere der klein- und mittelständischen Unternehmen).

Bild 4: Im-Ohr-Sensor

Die Umsetzung innovativer Entwicklungstrends mit dem Ziel neuartiger Sensorlösungen unterstützt die Firmen im Bestehen auf dem europäischen Markt. An den verschiedenen Statements wurde auch das dritte wichtige Standbein des CiS Forschungsinstituts erkennbar. Die Sensorentwicklung als Systementwicklung im Bereich MEMS und MOEMS überzeugte in der Vergangenheit mit einer Vielseitigkeit an Prototypen und Musterserien. Als Beispiel sei hier der Im-Ohr-Sensor für kardiovaskuläres Monitoring genannt, der am CiS Forschungsinstitut auf der Grundlage eines patentierten, optoelektronischen Sender-Empfänger-Moduls entwickelt wurde. Dadurch wird eine kontinuierliche Kontrolle wichtiger Vitalparameter wie des Blutdruck und der Herzfrequenz möglich.

Im Rahmen der Festveranstaltung überreichte die stellvertretende Hauptgeschäftsführerin der Industrie- und Handelskammer Erfurt Frau Dr. Cornelia Haase-Lerch der Geschäftsführung der CiS gGmbH die Ehrenurkunde zum 25jährigen Jubiläum.

Bild 5: Übergabe der Ehrenurkunde durch Frau Dr. Cornelia Haase-Lerch

Den krönenden Abschluss fand der Tag mit einem großen Familienfest auf dem Gelände der Erfurter Gartenschau. Bei nur gelegentlichen Schauern wurde der Tag mit allen Mitarbeiter und ihren Familien begangen. Mitarbeiter seit der Stunde NULL wurden besonders geehrt. Musikalisch wurde der Abend von der Sunshine Brass Band begleitet.
All dies lässt auf die nächsten 25 Jahre hoffen. Herzlichen Glückwunsch von der IMAPS-Redaktion zum 25. Jubiläum.